等離子系列產(chǎn)品
VP-10D全新全自動(dòng)等離子清洗機(jī)
關(guān)鍵應(yīng)用
設(shè)備優(yōu)勢(shì)
|
|
| 功能配置 | 技術(shù)參數(shù) | |
| 設(shè)備尺寸 | 寬x長(zhǎng)x高 | 1020L*1380W*1865H |
| 凈重 | 400KG | |
| 設(shè)備周邊間隙 | 后面800mm，兩側(cè)500mm | |
| 腔體 | 容積 | 工藝腔體容積8.5L |
| 適應(yīng)產(chǎn)品尺寸 | 寬度50-100mm / 長(zhǎng)度150-300mm | |
| 電極 | 電極尺寸 | 上：320*500mm 下：320*520mm |
| 射頻電源 | 標(biāo)準(zhǔn)功率 | 1KW |
| 頻率 | 13.56MHz | |
| 氣體控制 | 最多支持三路 | 標(biāo)配2路，可以選配3路 |
| 控制系統(tǒng) | 人機(jī)界面 | PLC觸摸屏 / PC控制 |
| 遠(yuǎn)程接口 | 通訊 | 選配 |
| 真空泵 | 可選干泵 | 90CFM |
| 可選油泵 | 195CFM | |
| 可選帶吹掃功能干泵 | YES | |
| 氮?dú)獯祾吡髁?/span> | 2SLM | |
| 廠務(wù)設(shè)施 | 電源 | AC380V 50-60HZ 4KW (油泵) / AC380V 50-60HZ 7KW (干泵) |
| 工藝氣體管路尺寸&類型 | 1/4inch Swagelok | |
| 工藝氣體純度 | 工業(yè)級(jí)及以上 | |
| 工藝氣體壓力 | 10-20 psig | |
| 吹掃氣體管路尺寸&類型 | 1/4inch Swagelok | |
| 吹掃氣體純度 | 工業(yè)級(jí)及以上 | |
| 吹掃氣體壓力 | 15psig | |
| 氣動(dòng)閥門管路尺寸&類型 | 10 mm push-in fitting | |
| 氣動(dòng)氣體純度 | 壓縮空氣，無(wú)油，露點(diǎn)<=7"C，顆粒<5 | |
| 氣動(dòng)氣體壓力 | 70-90psig | |
| 壓縮空氣排氣管路 | 10mm | |
| 合規(guī) | 認(rèn)證 | SEMI |
| 輔助設(shè)備 | 氮?dú)獍l(fā)生器(可選) | 有氮?dú)獯祾吖δ苄枨髸r(shí)選配 |
| 冷水機(jī)(可選) | 配置冷卻功能電極時(shí)選配 | |
| 氫氣工具包(可選) | 使用氫氣進(jìn)行處理時(shí)選配 | |
| 尾氣處理機(jī)(可選) | 含氟氣體處理時(shí)的尾氣處理選配 | |
| 運(yùn)輸 | 總重量 | 460KG |
| 包裝件數(shù) | 1 | |
| 包裝符合SPM15標(biāo)準(zhǔn) YES | ||
